目次

第1章 真空とはなんだろう

1-1 あなたのそばにある真空

1-2 真空に魅せられた人々

1-3 真空の領域を分類しておこう

1-4 真空の特質とは何だろう

1-5 真空を利用すればできる仕事

1-6 エジソンの白熱電球も真空のおかげ

1-7 食品の世界でも真空は活躍

1-8 こんなものも真空のおかげ―まさに魔法？―

第2章 真空のつくり方

2-1 真空は「真に空っぽ」か

2-2 真空をつくるポンプ

2-3 機械式ポンプのしくみⅠ―油回転真空ポンプ

2-4 機械式ポンプのしくみⅡ―水封式ポンプ

2-5 機械式ポンプのしくみⅢ―メカニカルブースターポンプ

2-6 機械式ポンプのしくみⅣ―ターボ分子ポンプ

2-7 機械式ドライポンプのしくみⅠ―回転運動式

2-8 機械式ドライポンプのしくみⅡ―往復運動式

2-9 蒸気噴射式のポンプ

2-10 溜め込み式のポンプ

2-11 真空を測るために―真空計の世界―

2-12 圧力そのものを測る真空計

2-13 熱伝導から測る真空計

2-14 イオンを利用した真空計

2-15 粘性から測る真空計

2-16 分圧計

第3章 真空装置

3-1 真空装置で必要なもの

3-2 真空を保つのは難しい

3-3 真空に用いられる材料Ⅰ―金属材料

3-4 真空に用いられる材料Ⅱ―非金属材料

3-5 真空部品と真空シール

3-6 真空装置の実際

3-7 リークを探せⅠ

3-8 リークを探せⅡ

第4章 人のそばにある真空技術

4-1 真空乾燥

4-2 真空凍結乾燥

4-3 真空蒸留

4-4 真空含浸

4-5 プラモもこれで―真空成形―

4-6 電子顕微鏡は真空で見る

4-7 究極の絶縁を求めるなら真空に

第5章 薄膜の世界

5-1 薄膜とはなにか

5-2 薄膜の成長のしかた

5-3 薄膜のつくり方Ⅰ―真空蒸着

5-4 薄膜のつくり方Ⅱ―スパッタリング

5-5 薄膜のつくり方Ⅲ―イオンプレーティング

5-6 薄膜のつくり方Ⅳ―ＣＶＤ

第6章 プラズマの力

6-1 プラズマとはなにか

6-2 地上に太陽を作り出す―核融合の夢―

6-3 雷もプラズマ？

6-4 家庭の蛍光灯もプラズマ？

6-5 放電でプラズマをつくるⅠ―直流グロー放電プラズマ

6-6 放電でプラズマをつくるⅡ―アーク放電プラズマ

6-7 放電でプラズマをつくるⅢ―高密度プラズマ

第7章 新しい真空の活用

7-1 ダイヤモンド薄膜で超伝導

7-2 原子の配置を観測するＳＴＭ

7-3 ナノパーティクルテクノロジー

7-4 カーボンナノチューブ

7-5 次代の真空技術の展望

コラム

●零戦のエンジンからヒントを得た多筒式ピストン真空ポンプ

●真空中では摩擦はなくなるのだろうか？

●単位記号molの意味

●放電プラズマの電流－電圧特性は自由に変えられる？

●高真空用のポンプ（油拡散ポンプ）の排気速度はなぜ吸気口の口径で決まるのか？

●気体の流量の単位はなぜ仕事率なのか？

●超高真空（10－8Pa）まで排気できる真空装置の中に表面がきれいな板を置くと、どのくらいの時間で表面が空気分子で覆われるだろうか？