図解入門 よくわかる 最新真空の基本と仕組み

概 要

機械加工分野や半導体産業はもとより、食品加工など異業種からも注目を浴びる真空技術を豊富な図解でわかりやすく解説した入門書です。真空を利用する技術はフリーズドライ製法の食品や魔法瓶、掃除機や炊飯器、冷蔵庫、エアコン、蛍光灯など身近なところから、半導体の製造ラインや電子顕微鏡にも応用され、薄膜形成技術やプラズマなど先端技術とも強く結び付いています。本書では、真空技術の入門セミナー講師として活躍する著者が、真空技術のしくみから応用分野、真空装置の組み立てで必要になる基礎知識、新しい真空の活用法など、最新情報までをやさしく解説しています。真空技術の実際と知識がよくわかります。

著者 飯島徹穂
価格 本体1400円(税別)
ISBN 978-4-7980-2283-3
発売日 2009/5/26
判型 A5
色数 2色
ページ数 216
CD/DVD
対象読者 入門
シリーズ 図解入門
表紙イメージ
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目次

第1章 真空とはなんだろう

1-1 あなたのそばにある真空

1-2 真空に魅せられた人々

1-3 真空の領域を分類しておこう

1-4 真空の特質とは何だろう

1-5 真空を利用すればできる仕事

1-6 エジソンの白熱電球も真空のおかげ

1-7 食品の世界でも真空は活躍

1-8 こんなものも真空のおかげ―まさに魔法?―

第2章 真空のつくり方

2-1 真空は「真に空っぽ」か

2-2 真空をつくるポンプ

2-3 機械式ポンプのしくみⅠ―油回転真空ポンプ

2-4 機械式ポンプのしくみⅡ―水封式ポンプ

2-5 機械式ポンプのしくみⅢ―メカニカルブースターポンプ

2-6 機械式ポンプのしくみⅣ―ターボ分子ポンプ

2-7 機械式ドライポンプのしくみⅠ―回転運動式

2-8 機械式ドライポンプのしくみⅡ―往復運動式

2-9 蒸気噴射式のポンプ

2-10 溜め込み式のポンプ

2-11 真空を測るために―真空計の世界―

2-12 圧力そのものを測る真空計

2-13 熱伝導から測る真空計

2-14 イオンを利用した真空計

2-15 粘性から測る真空計

2-16 分圧計

第3章 真空装置

3-1 真空装置で必要なもの

3-2 真空を保つのは難しい

3-3 真空に用いられる材料Ⅰ―金属材料

3-4 真空に用いられる材料Ⅱ―非金属材料

3-5 真空部品と真空シール

3-6 真空装置の実際

3-7 リークを探せⅠ

3-8 リークを探せⅡ

第4章 人のそばにある真空技術

4-1 真空乾燥

4-2 真空凍結乾燥

4-3 真空蒸留

4-4 真空含浸

4-5 プラモもこれで―真空成形―

4-6 電子顕微鏡は真空で見る

4-7 究極の絶縁を求めるなら真空に

第5章 薄膜の世界

5-1 薄膜とはなにか

5-2 薄膜の成長のしかた

5-3 薄膜のつくり方Ⅰ―真空蒸着

5-4 薄膜のつくり方Ⅱ―スパッタリング

5-5 薄膜のつくり方Ⅲ―イオンプレーティング

5-6 薄膜のつくり方Ⅳ―CVD

第6章 プラズマの力

6-1 プラズマとはなにか

6-2 地上に太陽を作り出す―核融合の夢―

6-3 雷もプラズマ?

6-4 家庭の蛍光灯もプラズマ?

6-5 放電でプラズマをつくるⅠ―直流グロー放電プラズマ

6-6 放電でプラズマをつくるⅡ―アーク放電プラズマ

6-7 放電でプラズマをつくるⅢ―高密度プラズマ

第7章 新しい真空の活用

7-1 ダイヤモンド薄膜で超伝導

7-2 原子の配置を観測するSTM

7-3 ナノパーティクルテクノロジー

7-4 カーボンナノチューブ

7-5 次代の真空技術の展望

コラム

●零戦のエンジンからヒントを得た多筒式ピストン真空ポンプ

●真空中では摩擦はなくなるのだろうか?

●単位記号molの意味

●放電プラズマの電流-電圧特性は自由に変えられる?

●高真空用のポンプ(油拡散ポンプ)の排気速度はなぜ吸気口の口径で決まるのか?

●気体の流量の単位はなぜ仕事率なのか?

●超高真空(10-8Pa)まで排気できる真空装置の中に表面がきれいな板を置くと、どのくらいの時間で表面が空気分子で覆われるだろうか?

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