図解入門 よくわかる 最新薄膜の基本と仕組み

概 要

情報機器から食品フィルムまで、あらゆる分野で活躍する「薄膜」を基礎からわかりやすくビジュアルに解説した入門書です。薄膜は、大規模集積回路(LSI)、トランジスタ(HEMT)、半導体レーザー、発光ダイオード、スナック菓子の包装のガスバリア、めがねのレンズ表面にある反射防止コーティングなど、あらゆる分野で利用されている技術です。本書では、薄膜の歴史から、形成技術、構造、今後への展望まで薄膜の知識を幅広く紹介します。また、章末のコラムには液体の薄膜、結晶でない結晶など薄膜に関係する豆知識を掲載しています。

著者 深津晋
価格 本体1500円(税別)
ISBN 978-4-7980-2844-6
発売日 2010/12/23
判型 A5
色数 2色
ページ数 220
CD/DVD
対象読者 入門
シリーズ 図解入門
表紙イメージ
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目次

Chapter1 これだけ知っておけば

1 ウソのようなホントのはなし

2 薄膜なくして現代文明なし

3 元祖ナノテクノロジー

4 極微の世界の芸術品

5 厚い薄膜? それとも薄い厚膜?

6 「薄膜」「表面」「界面」は三位一体

7 諸行無常ニモ負ケズ

8 見てくれより中身

9 あばたもえくぼ

10 「ちがう」ことはいいことだ

11 存在たるや空気のごとし

12 あるからこそない?

Chapter2 薄膜を手に入れたい

1 薄膜たち出生の秘話

2 ついに到来、万物総薄膜化の時代

3 テーラーメイドの真骨頂

4 薄膜のファンデーション

5 だましだましの効用

6 下準備をおこたらない

7 まずは環境の整備から

8 意外な落とし穴にはまらない (1)

9 意外な落とし穴にはまらない(2)

10 できあがりは基板の温度次第

11 エピタキシとは何だろう?

12 あやしい魅力のアモルファス

13 薄膜は「かたち」からはじめよう

14 怪我の巧妙?

15 「平ら」で「急峻な」ことは難しい

16 魔法の特効薬?

17 「不均一」、「むら」の意外な効用

18 でたとこ勝負は昔のハナシ?

Chapter3 薄膜を手に入れるには

1 作り方の基本は3つ

2 トップダウン? ボトムアップ?

3 膨張を続ける薄膜形成技術の世界

4 「蒸着」はもっともポピュラーな薄膜形成法

5 向かうところ邪魔なし

6 組成比を保ちたければ

7 分子線エピタキシ(MBE)は蒸着の進化形

8 レーザー光照射!

9 「結晶」の製造効率を上げたい

10 酸化物薄膜の形成にまつわる常識、非常識

11 秘密めく魅惑のプラズマ法

12 大面積の薄膜を作りたい

13 真空ばかりに頼らない

14 右へならえ!法

15 まさに温故知新。めっき法

16 これは簡単!塗るだけ法

17 インクジェットで自由自在

18 先祖返りではありません

19 目から鱗の吸着・転写法

20 枯れ木に花を咲かせましょう

21 竿竹で星を打つ! -イオン線の妙-

22 ナノ世界の切り絵、貼り絵

23 残り物には福がある

24 何はさておきウエットエッチング

25 あくまでもドライに

26 どこまでも平らにこだわりたい

Chapter4 薄膜を手に入れたら

1 薄膜の良し悪しを見分けるには

2 薄さ厚さはケースバイケース

3 剥がれにくさは大事な指標

4 表面の凸凹具合を見極めたい

5 薄膜を知るならやはり中身から

6 外科的な診断法の効用

7 イオンのスコップで掘りおこす

8 できればそのままで調べたい

9 光で薄膜を斬る!

10 驚異の超薄膜

11 ヘテロ構造、ヘテロ薄膜のチカラ

12 鳴かぬなら…の格子不整合系

13 薄膜に電流を流してみたら

14 電気抵抗のイメージ

15 形成過程で薄膜を評価?

16 クリアな視界には訳がある

17 食品包装でも大活躍

18 海水を淡水にかえるマジック

19 医療現場の強い味方

20 滑らないのか、滑るのか

21 熱はOK、電気はNO

22 電気が得意な薄膜たち(1)

23 電気が得意な薄膜たち(2)

24 LEDに席巻される未来

25 中央演算装置CPUはシリコン薄膜の「塊」

26 発電機としての薄膜

27 効能書きの読めぬところに効能あり

28 ディスプレイはいつも薄膜から

29 光の敏腕ゲートキーパー

30 うすっぺらでもたのもしい用心棒

31 SOIは薄膜技術の合従連衡?

Chapter5 これからの薄膜

1 自家薬籠中の物を超越

2 個人の識別・同定にも薄膜

3 21世紀版「ミクロの決死圏」

4 極限環境への挑戦

5 電子のスピンを自在に操る

6 縁の下の力持ち

7 厚みゼロが質量ゼロの電子を作りだす?

8 電子一個だけ、光子一個だけ

9 光であることを忘れた光たち

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