図解入門よくわかる 最新 半導体ナノプロセスの基本と仕組み

概 要

先端テクノロジーである半導体ナノ技術を豊富なイラストを使ってわかりやすく解説した入門書です。本書は、半導体やエレクトロニクスの基礎知識を持ち、かつ半導体に興味のある人を対象に、半導体プロセスについて入門者が理解しにくいところ、誤解しやすいところを広く浅くトピックを取り上げ、ナノスケールレベルのプロセスやデバイスの分野について幅広く網羅して解説しています。半導体ロードマップの現状、テクノロジーブースターの登場、モア・ムーアとモア・ザン・ムーアの展開、量子レベルの半導体など、ナノレベルの世界で展開する半導体技術の真髄と精華が手に取るようにわかります!

著者 佐藤淳一
価格 本体1800円(税別)
ISBN 978-4-7980-3333-4
発売日 2012/4/28
判型 A5
色数 2色
ページ数 232
CD/DVD
対象読者 入門
シリーズ 図解入門
表紙イメージ
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目次

第1章 ナノスケールの世界

1-1 どこまで小さくできるのか?

1-2 ナノレベルとは?

1-3 ナノテクノロジーとは?

1-4 ナノテクノロジー戦略の来襲

1-5 ナノテクノロジーはあくまでツール?

1-6 ナノテクノロジーの応用範囲

1-7 半導体とナノテクノロジー

第2章 半導体技術ロードマップの現状―ナノスケールへの突入―

2-1 ムーアの法則とスケーリング則

2-2 半導体の微細化の歴史

2-3 半導体技術ロードマップ

2-4 モア・ムーアの世界

2-5 モア・ザン・ムーアの世界

第3章 テクノロジーブースターの登場―ナノスケールへの突入―

3-1 テクノロジーブースターとは?

3-2 Ultra Low-k技術

3-3 High-kゲートスタック技術

3-4 SOI技術

3-5 歪シリコン技術

3-6 三次元トランジスタ技術

3-7 サラウンデット・ゲート・トランジスタ技術

3-8 半導体ナノマテリアル技術

第4章 モア・ムーアとモア・ザン・ムーアの展開

4-1 微細化(スケーリング則)の限界は?

4-2 Beyond CMOS

4-3 カーボンナノチューブの登場

4-4 CNT FETの展開

4-5 CNTのLSIへの応用―ナノグラファイト配線

4-6 モア・ザン・ムーアの他分野への展開

4-7 最新三次元実装の世界

4-8 スピンエレクトロニクスの現状

4-9 新しい半導体材料

第5章 半導体トップダウン技術

5-1 トップダウン技術とは?

5-2 半導体リソグラフィ技術の歴史

5-3 最新EUVリソグラフィ技術とは?

5-4 スタンプ式のナノインプリント技術

5-5 ナノ電極リソグラフィ技術

5-6 その他のトップダウンリソグラフィ

5-7 近接場露光

第6章 半導体ボトムアップ技術

6-1 ボトムアップ技術とは?

6-2 リソグラフィに依存しない微細加工技術

6-3 自己組織化リソグラフィの登場

6-4 自己組織化リソグラフィの新潮流

6-5 トップダウンとボトムアップの融合

6-6 分子リソグラフィ

第7章 量子レベルの半導体デバイス

7-1 量子デバイスとは?

7-2 量子井戸の登場

7-3 量子ワイヤや量子ドットプロセス

7-4 ドットメモリの提案

7-5 単電子トランジスタの提案

7-6 量子コンピュータ

第8章 FPDとナノプロセス

8-1 FPDとナノプロセス

8-2 ナノガラスの登場

8-3 光学フィルムとナノカプセル

8-4 ナノギャップFED

8-5 ナノシリコン利用のFED

8-6 CNTエミッタを用いたFED

第9章 太陽電池とナノプロセス

9-1 ナノスケール時代の太陽光電池

9-2 有機半導体と太陽光発電セル

9-3 有機薄膜太陽電池

9-4 色素増感太陽電池

9-5 多接合型化合物半導体太陽電池

9-6 量子ドット型太陽電池

第10章 新エネルギーとナノプロセス―トピックスの紹介―

10-1 ナノプロセスの環境・エネルギー分野への応用

10-2 MEMS発電

10-3 水素電極としてのナノカーボン

10-4 ナノ電極エネルギーモジュール

10-5 革新的コンデンサ・蓄電池

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