図解入門よくわかる 最新半導体プロセスの基本と仕組み

本書には、以下のサポートがあります。

この本の書籍紹介ページへ

正誤表

場所 訂正内容
59ページ
図表3-5-2 下段注釈 2行目

誤 … HPM:硫酸/過酸化水素水

正 … HPM:酸/過酸化水素水